| 대분류 |
중분류 |
소분류 |
비고 |
협의적
유지관리 |
청정도관리 |
Clean Room 입,출 절차 관리
Filter Leak 관리
Interior(건축물)관리
Air Shower 관리
청소(Cleaning)관리 |
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| 환경관리 |
온,습도 관리
차압관리
기류관리
정전기관리 etc... |
|
| 광의적 유지관리 |
System 관리 |
H.V.A.C system 장비관리 |
협의적 유지관리 포함 |
| Room |
압력차 (mmAq) |
| 청정도 Class가 다른 Clean Room |
0.5 |
| Clean Room과 Clean복도 · 갱의실 |
0.5~1.0 |
| Clean· 갱의실 등과 일반실 |
1.0 |
| Clean Room과 일반실 |
1.5 |
| 청정도 |
환기횟수(회/h) |
| Class 100 |
200~600 |
| 1,000 |
50~70 |
| 10,000 |
30~40 |
| 100,000 |
20~30 |
① 실외의 MAT에 신발을 털어낸다.
② 관리구역에 들어서 신발을 벗고 신발장에 넣은 후 1차 갱의를 한다
③ 일반복용 LOCKER에서 탈의를 한 후 수세를 한다.
④ 2차 갱의(Clean Room용)를 한 후 CLEAN ROOM용 신발 및 의복을 착용한다.
⑤ 마스크와 모자를 쓴 후 수세 및 DRYER를 한다.
⑥ AIR SHOWER를 한 후 CLEAN ROOM용 장갑을 착용한다.
⑦ CLEAN ROOM내로 입실한다. | |
