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층류식 (수직 · 수평), 난류식, 혼류식, 터널식이 있으면, 가각의 특징 및 사용목적을 고려하여 결정합니다. | | |
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클린룸의 청정도는 제품에 요구되는 정도에 의해 결정됩니다. 청정도 레벨은 기류방식, 환기횟수,실내압력등을 충분히 검토함으로서 달성됩니다. | | |
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작업성 및 청정도를 만족시킬 수 있는 Lay-out 을 구성합니다. 먼지 발생이 많은 작업은 다른 작업과 격리하며, 사람, 물건의 출입구, 통로, Utility, 유지보수 등을 종합적으로 검토하여 합니다. | | |
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가능한 한 실내 표면을 매끄럽게 해서 기류가 흐트러지거나 먼지가 쌓이지 않는 구조로 합니다. 먼지발생이 적을 뿐만 아니라 입자가 잘 부착되지 않고 청소가 용이한 재료를 선택합니다. 작업내용에 따라 내양품성, 내습성, 내화성을 가진 래료로 사용하는 경우로 있습니다. | | |
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클린룸을 구성하는 주변장치에는 먼지제거, 압력유지에 Air Shower (대인 · 대물용) ,Pass Box (물건 입출인용), Relief Damper (실내압력조정용) 등이 있으며, 물품 무진복의 보관을 위한 Clean Stocker, Clean Locker 등이 있습니다. 따라서 각각의 기능에 대한 충분하 이해가 필요합니다. | | |
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작업자와 외부에서 반입되는 물품은 최대의 발진원입니다.무진복과 화장의 문제 등을 포함하여 작업자는 클린룸화에 대한 기본지식이 필요합니다. | | |
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급배수, 가스 전기 등 에너지 공급을 위한 장치는 기류방식, Lay-out 의 Flexbility를 고려하여 결정하여야 합니다. 또 유지보수시에는 청정도 저하를 초래하지 않도록 주의할 필요가 있습니다. | | |
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클린룸은 밀폐구조이므로 화재, 가스누설 등에 대한 최대대책이 필요합니다. 또 정전에 의해 문제가 발생할 수 있는 장비에 대해서는 비상전원설비를 갖추는 것을 검토할 필요가 있습니다. | | |
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Air Flow |
수직층류방식 Vertical Laminar Airflow |
수평층류방식 Horizontal Laminar Airflow
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난류방식 Turbulent Airflow |
클린튜브방식 Clean Tube |
클린터널방식 Clean Tunnel |
Cleanliness Level |
Class 1~100 |
Class 100 |
Class 1,000~100,000 |
Class 1 |
Class 1~100 |
Cleanliness Level in Operation |
작업자로부터 영향은 적다 |
상류발진이 하류에 영향을 미친다. |
작업자로부터 영향은 있음 |
작업자로부터 영향은 없음 |
작업자로부터 영향이 가장 적다. |
Initial Cost |
High |
Middle |
Low |
Middle |
Middle |
Operating Cost |
High |
Middle |
Low |
Low |
Middle |
Modificaion |
Easy |
Difficult |
Easy |
Difficult |
Difficult |
Maintenance of Manufacturing Machinery |
Easy |
Easy |
Easy |
Difficult |
Easy |
Air Handing with Orecise Control |
실 전체 제어를 위해 실내의 불균형 약간 있음 |
상류의 발진이 하류에 영향을 미친다. |
불균형 있음 |
고청정도 유지 |
작업장마다 고정밀도 제어가능 |
방식 |

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